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簡(jiǎn)要描述:DLS低溫晶圓測(cè)試(晶圓測(cè)試溫控系統(tǒng))所有的關(guān)鍵部件均選用進(jìn)口品牌,確保產(chǎn)品長(zhǎng)時(shí)間可靠運(yùn)行。同時(shí)所有產(chǎn)品發(fā)貨前均經(jīng)過(guò)嚴(yán)格測(cè)試與檢驗(yàn),確保設(shè)備到客戶(hù)現(xiàn)場(chǎng)不會(huì)出現(xiàn)任何問(wèn)題。
產(chǎn)品分類(lèi)
詳細(xì)介紹
DLS系列低溫冷水機(jī)(晶圓測(cè)試溫控系統(tǒng))主要由制冷系統(tǒng)、循環(huán)系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、箱體等組成。制冷系統(tǒng)采用蒸汽壓縮式制冷。循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、蓄冷容器、排氣閥、單向閥、熱電阻、管道等組成??刂葡到y(tǒng)采用PID控制技術(shù),高清液晶屏顯示,設(shè)有多項(xiàng)保護(hù)功能,確保設(shè)備安全運(yùn)行。通過(guò)機(jī)組自身的制冷與加熱,向外界輸送載熱流體,滿(mǎn)足工藝條件要求。
全密閉系統(tǒng):采用全密閉式系統(tǒng)設(shè)計(jì),整個(gè)循環(huán)管路只有加液蓋上留出的呼吸孔,載冷介質(zhì)不會(huì)直接與空氣接觸,延長(zhǎng)了介質(zhì)使用壽命同時(shí)確保系統(tǒng)運(yùn)行的穩(wěn)定性。
高效換熱系統(tǒng):制冷采用板式換熱器,換熱效率高、結(jié)構(gòu)緊湊。
控制結(jié)果重復(fù)性:基于高級(jí)動(dòng)態(tài)控制系統(tǒng),每次都能實(shí)現(xiàn)一致的控制結(jié)果,大大提升產(chǎn)品生產(chǎn)的穩(wěn)定性。
產(chǎn)品外觀:外觀設(shè)計(jì)吸取國(guó)外進(jìn)口產(chǎn)品的設(shè)計(jì)理念,采用大口徑石英玻璃液位計(jì),液位計(jì)與操作屏放在同一側(cè),觀察方便,風(fēng)格簡(jiǎn)約時(shí)尚,比列協(xié)調(diào),專(zhuān)有的色彩搭配。
質(zhì)量保障:所有的關(guān)鍵部件均選用進(jìn)口品牌,確保產(chǎn)品長(zhǎng)時(shí)間可靠運(yùn)行。同時(shí)所有產(chǎn)品發(fā)貨前均經(jīng)過(guò)嚴(yán)格測(cè)試與檢驗(yàn),確保設(shè)備到客戶(hù)現(xiàn)場(chǎng)不會(huì)出現(xiàn)任何問(wèn)題。
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