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晶圓生產完成后，需要對其進行各種參數的檢測，在檢測的過程中，需要在不同溫度下進行測試，晶圓測試用溫控設備（晶圓測試溫控系統(tǒng)）是高精度，高分辨率，高穩(wěn)定性的控制設備。

PTHC防爆高低溫一體機和高低溫一體循環(huán)機配備人性化7英寸真彩LCD觸摸屏，良好的人機交互界面，直觀顯示本機參數及外部控溫參數，智能觸控，操作便捷。

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高低溫循環(huán)器主要應用于高壓反應釜、中試生產不銹鋼反應釜、雙層玻璃反應釜、夾套反應釜、微通道反應器、反應裝置、組合化學等冷熱源動態(tài)恒溫控制以及制藥行業(yè)中的低溫蒸餾、精餾、萃取等設備中。

TCU溫度控制系統(tǒng)配有先進的泵技術，優(yōu)化熱傳遞，可調控泵確保液體循環(huán)和高流量，有效防止玻璃反應釜因軟啟動導致?lián)p壞，延長導熱油使用壽命，密封的液壓系統(tǒng)防止導熱油氧化。

高低溫循環(huán)裝置結構復雜，可以分為溫度控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和循環(huán)系統(tǒng)等三部分。其中，溫度控制系統(tǒng)是關鍵部分，主要由加熱系統(tǒng)、制冷系統(tǒng)、控制器、傳感器等組成。